PVD = Physical Vapor Deposition – Bốc hơi lắng đọng Vật lý   

QUÁ TRÌNH PVD DIỄN TIẾN THEO CÁC BƯỚC  :

•             Bốc hơi kim loại – evaporation ( kim loại điện cực- Target ):đây là bước mà  kim loại chuyển từ thể rắn ( solid phase ) sang thể hơi ( vapor phase) .

  Ở giai đoạn này các nguyên tử kim loại điện cực – (target ) Titannium (Ti), Zirconium(Zr) , chrome(Cr)…  tách rời khỏi điện cực do sự hội tụ năng lượng nguồn tại  điểm catot (cathode -spot), điểm catot di chuyển trên bề mặt catot  làm cho nó phá vỡ liên kết tinh thể ,tan chảy và bốc hơi, những nguyên tử  kim loại Ti,Zr, Cr….  va chạm với các điện tử và các ion khác hiện hữu trong môi trường plasma để trở thành những ion Ti⁺_, Zr^+, Cr⁺… và Ti⁺⁺_,Zr⁺⁺,Cr⁺⁺… 

•            Vận chuyển ( transportation) :là quá trình các ion Ti⁺_, Zr^+, Cr⁺… và Ti⁺⁺_, Zr⁺⁺,Cr⁺⁺… dưới tác dụng của điện trường di chuyển thẳng  tiến tới sản phẩm cần mạ (substrat).
•            Phản ứng (Reaction) : là quá trình các ion kim loại điện cực Ti⁺_,Zr^+, Cr⁺… và Ti⁺⁺_, Zr⁺⁺,Cr⁺⁺…  vận chuyển kết hợp với các ion của khí ,hỗn hợp khí  tạo ra màu sắc  lớp phủ. Tương ứng với các phản ứng tạo ra các hợp chất khác nhau cho ra các màu sắc khác nhau trong quá trình mạ PVD.
•            Lắng đọng (deposition) : là quá trình lắng đọng các hợp chất kim loại – khí  (TiN, TiCN, ZrN, CrN,CrC…)  để tạo ra lớp phủ trên bề mặt sản phẩm.  

Như vậy tóm tắt lại: thì quá trình PVD (physical- vapor- deposition) được diễn ra qua 4 giai đoạn : bốc hơi –vận chuyển –phản ứng và lắng đọng, Quá trình này diễn ra trong môi trường chân không , plasma , các phản ứng diễn tiến theo chu kỳ nhất định , mang đậm các tính chất  vật lý , Nên được gọi là bốc hơi – lắng đọng vật lý hay là quá trinh PVD.